Áp suất bên trong lò có thể được chiết vào lò công nghiệp dưới áp suất khí quyển. Lò chân không sử dụng hệ thống sưởi bằng điện, bề mặt phôi được gia nhiệt không bị oxy hóa, khử cacbon, ít biến dạng và có tính chất cơ học tốt. Nấu chảy kim loại trong lò chân không có lợi cho việc loại bỏ tạp chất, dẫn đến ít lỗ kim hơn, ít sự phân tách hơn và chất lượng thành phẩm tốt hơn. Lò chân không thích hợp để nấu chảy và gia nhiệt các kim loại chất lượng cao, độ tinh khiết cao và vật liệu chịu lửa, như vonfram, molypden, tantalum, niobi, titan, luyện thép hợp kim chịu nhiệt và vật liệu từ tính, vật liệu điện, độ bền cao thép, thép không gỉ, thép công cụ, thép khuôn, v.v.
Lò chân không xuất hiện vào khoảng những năm 1930. Năm 1927, Hoa Kỳ sản xuất lò ủ chân không cho vật liệu điện. Năm 1953, lò hồ quang chân không tiêu hao được sử dụng trong công nghiệp để nấu chảy titan xốp. Lò nung cảm ứng chân không được sử dụng rộng rãi trong công nghiệp vào khoảng những năm 1950. Năm 1960, Hoa Kỳ đã phát triển lò chân không làm nguội bằng dầu.
Lò chân không thường bao gồm lò nung, thiết bị sưởi điện, vỏ lò kín, hệ thống chân không, hệ thống cấp điện và hệ thống kiểm soát nhiệt độ. Vỏ lò kín được hàn bằng thép carbon hoặc thép không gỉ, và bề mặt khớp của các bộ phận có thể tháo rời được bịt kín bằng vật liệu bịt kín chân không. Để ngăn chặn sự biến dạng của vỏ lò và sự hư hỏng của vật liệu bịt kín sau khi gia nhiệt, vỏ lò thường được làm mát bằng nước hoặc làm mát bằng không khí. Lò được đặt bên trong vỏ lò kín. Theo mục đích của lò, các loại bộ phận làm nóng khác nhau được lắp đặt bên trong lò, chẳng hạn như điện trở, cuộn dây cảm ứng, điện cực và súng điện tử. Lò chân không để nấu chảy kim loại được trang bị nồi nấu kim loại trong lò, một số còn được trang bị thiết bị rót tự động và cánh tay cơ khí để bốc dỡ vật liệu. Hệ thống chân không chủ yếu bao gồm bơm chân không, van chân không và máy đo chân không.
Lò chân không được chia thành lò điện trở chân không, lò cảm ứng chân không, lò hồ quang chân không, lò hồ quang tiêu hao chân không, lò chùm tia điện tử (còn gọi là lò bắn phá điện tử) và lò plasma theo các bộ phận làm nóng.